Ang katagang MEMS ay kumakatawan sa mga micro-electro-mechanical system. Ito ay isang hanay ng mga aparato, at ang paglalarawan ng mga aparatong ito ay maaaring gawin sa pamamagitan ng kanilang maliit na sukat at ang pagdidisenyo mode. Ang pagdidisenyo ng mga sensor na ito ay maaaring gawin sa 1- 100-micrometer mga sangkap . Ang mga aparatong ito ay maaaring magkakaiba mula sa maliliit na istraktura hanggang sa napakahirap na mga electromekanical system na may maraming mga gumagalaw na elemento sa ilalim ng kontrol ng isinasamang micro-electronics. Karaniwan, ang mga sensor na ito ay nagsasama ng mga mechanical micro-actuator, micro-istruktura, micro-electronics, at micro-sensor sa isang pakete. Tinalakay ng artikulong ito kung ano ang isang sensor ng MEMS, prinsipyo ng pagtatrabaho, mga pakinabang at mga application ito

Ano ang isang MEMS Sensor?

Ang MEMS ay murang gastos, at mataas na kawastuhan ng mga sensor ng inertial at ginagamit ang mga ito upang maghatid ng malawak na hanay ng mga pang-industriya na aplikasyon. Gumagamit ang sensor na ito ng isang teknolohiya na nakabatay sa maliit na maliit na maliit na maliit na elektro-mechanical-system. Ang mga ito mga sensor ay ginagamit upang tuklasin pati na rin ang pagsukat ng panlabas na pampasigla tulad ng presyon, pagkatapos nito ay tumutugon sa presyon na sinusukat ang presyon sa tulong ng ilang mga mekanikal na aksyon. Ang pinakamagandang halimbawa ng ito ay pangunahing kasama ang pag-ikot ng isang motor para sa pagbabayad sa pagbabago ng presyon.

Ang Paggawa ng MEMS IC ay maaaring gawin sa silikon, kung saan ang bahagyang mga layer ng materyal ay inilalagay kung hindi man ay naayos sa isang Si substrate. Pagkatapos nito ay piliing nakaayos upang iwanan ang mga mikroskopikong istrakturang 3D tulad ng diaphragms, beams, levers, spring, at gears.

“sunud-sunod na turn signal ng eskematiko diy ”

mems-ic

Ang katha ng MEMS ay nangangailangan ng maraming mga diskarte na ginagamit upang makabuo ng iba pang mga circuit ng semiconductor tulad ng proseso ng oksihenasyon, proseso ng pagsasabog, proseso ng pagtatanim ng ion, proseso ng paglalagay ng singaw ng kemikal na may mababang presyon, sputtering, atbp Bilang karagdagan, ang mga sensor na ito ay gumagamit ng isang partikular na proseso tulad ng micromachining.

Prinsipyo sa Paggawa ng Sensor ng MEMS

Tuwing ang ikiling ay inilalapat sa MEMS sensor, kung gayon ang isang balanseng masa ay gumagawa ng pagkakaiba sa loob ng potensyal na elektrisidad. Masusukat ito tulad ng isang pagbabago sa loob ng kapasidad. Pagkatapos ang signal na iyon ay maaaring mabago upang lumikha ng isang matatag na signal ng output sa digital, 4-20mA o VDC.

Ang mga sensor na ito ay mahusay na solusyon sa ilang mga application na hindi hinihingi ang maximum na kawastuhan tulad ng pang-industriya na awtomatiko, pagkontrol sa posisyon, pag-roll, at pagsukat ng pitch, at leveling ng platform.

Mga uri ng MEMS

Ang mga karaniwang uri ng mga sensor ng MEMS ay maaaring makuha sa loob ng merkado

Mga accelerometer ng MEMS
MEMS gyroscope
Mga sensor ng presyon ng MEMS
MEMS magnetic field sensor

Mga kalamangan sa MEMS

Ang mga kalamangan ng MEMS sensor ay kasama ang sumusunod.

Ang pagmamanupaktura ng MEMS ay paggawa ng semiconductor IC tulad ng pag-imbento ng mababang halaga ng masa, mahalaga din ang pagiging pare-pareho sa mga aparato ng MEMS.
Ang laki ng mga sub-sangkap ng sensor ay nasa loob ng 1 hanggang 100 saklaw ng micrometers pati na rin ang laki ng aparato ng MEMS ay tutukoy ng 20 micro-meter sa isang saklaw ng millimeter.
Napakababa ng pagkonsumo ng kuryente.
Simpleng isama sa mga system o pagbabago
Ang thermal pare-pareho ay maliit
Ang mga ito ay maaaring lubos na tutol sa pagkabigla, radiation, at panginginig ng boses.
Mas mahusay na pagpapaubaya sa pag-unlad ng thermal
Paralelismo

Mga aplikasyon ng MEMS

Ginagamit ang mga sensor ng MEMS sa iba't ibang mga domain na kasama ang sasakyan , consumer, pang-industriya, militar, biotechnology, explorer sa kalawakan, at mga layuning pangkalakalan na kasama ang mga inkjet printer, mga accelerometro sa loob ng mga modernong kotse, electronics ng consumer, sa mga personal na computer, atbp.

Ang pinakamahuhusay na halimbawa ng mga aparato ng MEMS ay pangunahing kasama ang mga adaptive optika, optikong cross-connect, airbag mga accelerometro , mirror arrays para sa mga TV at display, steerable micromirrors, mga aparato ng RF MEMS, hindi magagamit muli na mga medikal na aparato, atbp.

Sa gayon, ito ay tungkol sa MEMS sensor . Ang pangunahing kawalan ng mga sensor na ito ay, kahit na ang paggawa ng gastos para sa bawat bahagi ay labis na mababa. Ngunit mayroong isang malaking nauugnay na pamumuhunan habang nagdidisenyo, gumagawa, at sumusunod sa produkto na nakabatay sa MEMS. Dahil dito, ang mga taga-disenyo ay hindi malamang na palawakin ang mga bahagi para sa mababang aplikasyon ng dami. Narito ang isang katanungan para sa iyo, ano ang mga kategorya ng mga aparato ng MEMS?